超快激光器是什么？皮秒飛秒激光在工業(yè)加工上有哪些優(yōu)勢？
超快激光器是指輸出激光脈沖寬度在皮秒(10-12s)級或小于皮秒級的脈沖激光器激光根據能量輸出波形進(jìn)行分類(lèi)的一種。激光有多種分類(lèi)方法，其中最常用的分類(lèi)方法有四種，包括工作能量輸出波形(工作模式)。輸出波長(cháng)(顏色)。根據功率大小進(jìn)行分類(lèi)。
時(shí)間域：1ns=10-9s，1ps=10-12s，1fs=10-15s；
空間域：1fs內，光在真空中的距離為3×10-10m，即0.3μm；
DPSS.光纖；
氣體激光器：CO2.Excimer.CO.N2；
超快激光鎖模技術(shù)的發(fā)展：
飛秒激光真的是冷加工嗎？
不一定，這與參數有關(guān)。
材料加工的基本原理是工具與加工材料的化學(xué)鍵強度之間的競爭。上圖顯示了長(cháng)脈沖激光和飛秒激光，它們處于同一材料加工的不同狀態(tài)。能量在粒子.原子.分子之間的傳輸，根據強度的不同，傳輸時(shí)間在納秒和十幾秒之間，這決定了飛秒激光加工幾乎是冷加工。
上圖顯示了光譜物理在切割有機心血管支架時(shí)使用飛秒激光器的實(shí)驗。右圖顯示綠色區域，即無(wú)熱影響區域，紅色區域為熱影響區域。水平坐標為頻率，垂直坐標為重疊率。圖表顯示，即使在一定時(shí)間內注入飛秒激光，更多的能量，即在頻率增加后，仍會(huì )產(chǎn)生左圖表示的熱影響區域，甚至材料熔化。
用于PCD.OLED.脆性材料。
PCD加工精密切割刀。
超硬材料(Superhardmaterial)是指硬度特別高的材料，可分為天然材料和人造材料。PCD.CVD等超硬材料通常用作精密切割工具，需要非常靈活的技術(shù)進(jìn)行精密加工。加工工藝產(chǎn)量高；高質(zhì)量:形狀可控。表面粗糙度低(0.1μm)；熱影響區小。飛秒激光熱影響小，無(wú)磨損。無(wú)應力。靈活的幾何形狀與材料無(wú)關(guān)。
在速度方面，下圖為用100W功率的Spirit1030-100激光器切割0.2mm厚的PCD材料，切割速度>6mm/s，材料去除率6mm3/min。
下圖為切割0.5mmPCD，顯微圖像為20倍和50倍，切割速度可達1.2mm/s，切割邊緣非常光滑。
與傳統的加工工藝相比，超快脈沖激光加工工具的邊緣遠遠超過(guò)其他工藝。
OLED材料。
隨著(zhù)柔性電子產(chǎn)品的興起，OLED等柔性基材對加工工藝也提出了更高的要求。
對于柔性基材，需要具備：
柔性：剛度vs厚度；
機械.化學(xué).幾何穩定性；
耐化學(xué)腐蝕；
氧，濕透性低；
表面粗糙度和透光率(用于底部發(fā)光體)。
沒(méi)有一種材料能同時(shí)滿(mǎn)足所有要求，因此需要多層或復合材料?？捎糜贠LED的聚合物材料包括PET(聚對苯二甲酸乙二醇酯).PC(聚碳酸酯).PI(聚酰亞胺.卡普頓).PEN(聚萘二甲酸乙二醇酯).PES(聚醚硫)。超快激光器的加工能力與材料無(wú)關(guān)，加工后材料特性不會(huì )改變。
如下圖所示，聚亞酰胺和聚酯材料分別用100Wfsspirit加工，切割速度分別為>800mm/s和>1200mm/s。
聚亞酰胺(左)用100W切割聚亞酰胺(左)，用100Wfspirit加工聚酯材料(右)
皮秒激光器在工業(yè)加工中的應用。
以下應用以Spectra-Physics-MKSICEFyreTM1064-50A加工為例。
氧化鋁劃線(xiàn).切割。
熱影響區很小，甚至沒(méi)有。
切割200μm厚氧化鋁陶瓷20mm/s。
在不完全優(yōu)化的情況下。
薄玻璃鉆孔
康寧Willow玻璃，厚度~200μm，孔徑10mm。
切割時(shí)間：2.5s。
側壁粗糙度RA1μm。
切割藍寶石片。
厚度=375，直徑=5mm，切割時(shí)間：6.5s。
厚度=150m，直徑=5mm，切割時(shí)間：~1.5s，側壁粗糙度Ram1.5μm。
在犧牲一定速度的情況下，可達到較低的粗糙度0.5-1μm。
0.5mm厚非化學(xué)強化玻璃。
優(yōu)化參數后，左下顯微圖像顯示側壁質(zhì)量。
右側三維圖顯示側壁粗糙度很小，Ra~0.66μm。
當速度為1m/s時(shí)。
皮秒TimeShift技術(shù)的優(yōu)點(diǎn):2-4個(gè)子脈沖脈沖串能達到最佳切割效果。
0.7mm厚非化學(xué)強化玻璃。
顯微圖顯示0.7mm厚非化學(xué)強化玻璃，速度為1000mm/s時(shí)，用IceFyre1064-50激光切割(子脈沖數為2)。
左邊是激光入射面，中間是出射面裂片后的圖片。切割結果:一致性好，邊緣崩邊小(出射面質(zhì)量類(lèi)似入射面)。
右圖為側壁圖，整側自上而下的粗糙度非常一致，粗糙度Ra值在~0.5-0.6μm之間。
紫外皮秒激光器。
柔性印刷電路板(FPC).純LCP。
LCP(液晶聚合物)用于自由射頻電路(5g手機).高速數據傳輸(USB3.0)
與當前納秒DPSS355nm激光切割工藝相比。
挑戰：熱效應和切割速度。
基于皮秒TimeShit技術(shù)的工藝對提高速度非常有益。
在應用領(lǐng)域，在生物醫學(xué)領(lǐng)域，超快激光將引領(lǐng)眼科手術(shù)、皮膚美容、紋身、頭發(fā)等激光美容；在材料加工行業(yè)，由于、沖孔、材料去除、光刻、3D打印，特別是微加工；超快激光適用于脆性透明材料、超硬材料、貴金屬等。
